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3D壓痕儀系統(tǒng)的主要功能

　　3D壓痕儀系統(tǒng)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的計量儀器，于2010年07月13日啟用。

技術(shù)指標(biāo)

　　小載荷_25uN；大載荷350mN；大壓痕深度 3100um；位移分辨率_0.0004nm。

主要功能

　　3D壓痕儀系統(tǒng)主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以測定材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、存儲模量及損耗模量等特性。微米級劃痕測試儀（MCT）：用于界定薄膜與基體的結(jié)合強度，可分析有機、無機，軟質(zhì)和硬質(zhì)薄膜的破壞形式。

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