(MACH-1系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖:)
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( 使用Mach-1 的v500css模型在SawBone脛骨平臺(tái)上進(jìn)行3D輪廓測(cè)量)
3D PROFILOMETRY 歷**,輪廓測(cè)定被認(rèn)為是表面相對(duì)于接觸輪廓儀的觸針(在表面上滑行)移動(dòng)時(shí)的表面高度的圖形。隨著許多非接觸(光學(xué))輪廓測(cè)量技術(shù)的出現(xiàn),這種觀念正在發(fā)生變化,其中表面高度被映射在XY網(wǎng)格上(例如通過激光束三角測(cè)量)。使用該mach-1多軸機(jī)械測(cè)試儀,可以通過用表面上的一系列非常輕的接觸掃描表面來執(zhí)行類似的非破壞性表征。在每個(gè)位置處,將小球形壓頭降低到表面上,直到測(cè)力傳感器檢測(cè)到預(yù)定載荷(低至幾u(yù)N)。**次接觸檢測(cè)時(shí)壓頭的垂直位置是表面的局部高度。根據(jù)測(cè)試儀規(guī)格,可以在具有寬范圍剛度(幾kPa到幾百GPa)的樣品上實(shí)現(xiàn)亞微米分辨率。該技術(shù)不受光學(xué)偽影的影響,并且可以在溶液中的樣品浴中進(jìn)行。
非接觸式、非破壞性、快速表面形貌測(cè)量與分析
臺(tái)階高度測(cè)量分辨率達(dá)0.1um;