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緊湊型旋涂機(jī)（8000 rpm，*小4英寸晶圓），帶3個(gè)真空吸盤和真空泵

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產(chǎn)品名稱：緊湊型旋涂機(jī)（8000 rpm，*小4英寸晶圓），帶3個(gè)真空吸盤和真空泵
產(chǎn)品型號(hào)：-VTC-100A
產(chǎn)品展商：MTI
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

VTC-100A是經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型旋涂機(jī)，帶有真空吸盤，設(shè)計(jì)用于通過溶膠-凝膠輕松，快速地涂覆*大4英寸的晶圓。旋轉(zhuǎn)速度在500-8000 rpm之間可變，帶有兩個(gè)可編程段。整套包裝隨附立即使用的配件。

產(chǎn)品描述

VTC-100A是經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型旋涂機(jī)，帶有真空吸盤，設(shè)計(jì)用于通過溶膠-凝膠輕松，快速地涂覆*大4英寸的晶圓。旋轉(zhuǎn)速度在500-8000 rpm之間可變，帶有兩個(gè)可編程段。整套包裝隨附立即使用的配件。

規(guī)格：

結(jié)構(gòu)體	鋁鑄造表殼保持穩(wěn)定旋轉(zhuǎn) 聚丙烯（PP）制成的液體盤可抵抗大多數(shù)腐蝕性溶液排水口和真空泵連接器在后面板上標(biāo)準(zhǔn)包裝中包含一個(gè)過濾器。用于連接涂布機(jī)，以防止廢水流入泵標(biāo)準(zhǔn)包裝中包含一個(gè)無油真空泵，請單擊此處以獲取詳細(xì)規(guī)格信息。
箱式和真空吸盤	腔室直徑：145毫米 3套帶有卡盤O型圈的PP防腐真空吸盤，尺寸不同（1''，2''和4''）隨附1條膠帶（寬6英寸x長24英寸），用于涂覆不規(guī)則形狀的基材（例如，將不規(guī)則的基材放在膠帶上，然后真空吸盤將通過吸力固定膠帶）迷你吸盤適用于直徑小于1“的小晶圓或規(guī)則（5x5或10x10mm）或不規(guī)則形狀的基板。請單擊此處訂購。要額外收費(fèi)。（請參見右下方的圖片）（可選；單擊圖片可觀看演示視頻）
真空泵	包括一個(gè) 120L / min無油真空泵。隨附真空級(jí)橡膠管，可立即使用。
旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間	具有兩個(gè)可編程段的數(shù)字控制面板，適用于不同的旋轉(zhuǎn)時(shí)間和速度旋轉(zhuǎn)速度：500-8000 RPM 旋轉(zhuǎn)時(shí)間：1-60s
液體注射	20mL注射器用于容納涂料注射器支架的高度可以調(diào)節(jié)，并可沿支撐桿自由旋轉(zhuǎn) -圖片1- 圖片2
可選的	選項(xiàng)1：可根據(jù)要求提供帶數(shù)字溫度控制器的PE加熱蓋，高溫度可達(dá)120°C（<10分鐘），但需額外付費(fèi)。這是一個(gè)短暫的干燥過程（通常需要幾秒鐘或多10分鐘），可以干燥并固化涂層，并在完成涂層過程后除去殘留的溶劑。單擊下面的演示視頻和圖片以獲取詳細(xì)信息。選項(xiàng)2：PTFE加熱蓋+ PTFE真空吸盤套件能夠?qū)⒏稍餃囟忍岣叩?00°C（<5分鐘）。真空吸盤和真空室也需要用PTFE材料代替，以承受較高的加熱溫度。請單擊 PTFE加熱蓋和卡盤設(shè)置進(jìn)行學(xué)習(xí)。選項(xiàng)3： UV燈帶控制器蓋，用于快速干燥聚合物薄膜（新） P1 P2 P3 （可加熱蓋視頻）
輸入功率	110VAC或220VAC，請?jiān)谶x項(xiàng)欄中選擇電壓（10A保險(xiǎn)絲）
電機(jī)功率	*大150W的24V直流電動(dòng)機(jī)
產(chǎn)品尺寸	13英寸（長）x 10英寸（寬）x 8.5英寸（高）
凈重	15公斤（33磅）
合規(guī)	僅CE認(rèn)證如果您需要NRTL認(rèn)證，請訂購 VTC-100PA （單擊下面的圖片）
保證	一年有限，終身支持由于不正確的存儲(chǔ)條件或維護(hù)而導(dǎo)致的生銹和損壞不在保修范圍內(nèi)
操作手冊和視頻	（可加熱蓋視頻）
應(yīng)用須知	請單擊此處以查看有關(guān)“ 旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)的理論與加工”的文章為了獲得*佳的涂層質(zhì)量，請?jiān)谕繉又翱紤]使用等離子清潔劑清潔基材（單擊下面的圖片以獲取更多詳細(xì)信息）。這將大大降低基材上的表面張力。旋涂機(jī)的清潔說明。您可以考慮使用我們的新產(chǎn)品：帶加熱蓋的可加熱注射器和旋涂機(jī) 強(qiáng)烈建議您將涂布機(jī)放在通風(fēng)柜下面，如右圖所示在帶有Ar氣的手套箱中使用涂布機(jī)時(shí)，真空泵必須通過真空穿通管或適配器插入手套箱外部
警告事項(xiàng)	請勿用任何液體過度沖洗水杯/底座。過多的液體會(huì)泄漏到電機(jī)軸中并造成損壞。請用布擦拭殘留在船首/底座上的殘留物。如有必要，在沖洗水杯/底座時(shí)打開出水口，以免在操作過程中液體溢出。有關(guān)清潔程序的更多詳細(xì)信息，請查閱旋涂機(jī)的清潔說明。
運(yùn)輸尺寸	40英寸（長）x 28英寸（寬）x 24英寸（高）
裝運(yùn)重量	85磅

標(biāo)準(zhǔn)包裝：
項(xiàng)目編號(hào)	描述	數(shù)量
1個(gè)	VTC-100A臺(tái)式旋涂機(jī)	1個(gè)
2	4“真空吸盤（預(yù)裝在機(jī)器上）	1個(gè)
3	2“真空吸盤	1個(gè)
4	1“真空吸盤	1個(gè)
5	塑料玻璃蓋，確保操作** （預(yù)先安裝在機(jī)器上）	1個(gè)
6	20mL注射器，用于在板上滴下涂料溶劑	1個(gè)
7	用于連接真空泵的軟管	1個(gè)
8	排水軟管	1個(gè)
9	無油真空泵，AC 110V或220V版本，泵上整套安裝了過濾器（連接到真空管以防止水流入泵中）	1個(gè)
10	藍(lán)色膠帶（6英寸（寬）x 24英寸（長））	1個(gè)
選購件
選項(xiàng)	VTC200或VTC100的卡盤O型圈	選項(xiàng)

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緊湊型旋涂機(jī)（8000 rpm，*小4英寸晶圓），帶3個(gè)真空吸盤和真空泵

緊湊型旋涂機(jī)（8000 rpm，*小4英寸晶圓），帶3個(gè)真空吸盤和真空泵