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產(chǎn)品名稱：用于連續(xù)石墨烯或二維薄膜生長的卷對卷PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：OTF-1200X-II-PE-RR
產(chǎn)品展商：MTI
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簡單介紹

OTF-1200X-II-PE-RR是實驗室規(guī)模的卷對卷 PE-CVD （等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）管式爐系統(tǒng)，由300W RF等離子源，80mm OD的兩個加熱區(qū)分流管式爐（*高1200oC）組成，3通道MFC氣體輸送站，高品質(zhì)的機(jī)械真空泵，兩個帶底盤收放的真空室以及觸摸屏控制面板。

產(chǎn)品描述

OTF-1200X-II-PE-RR是實驗室規(guī)模的卷對卷 PE-CVD （等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）管式爐系統(tǒng)，由300W RF等離子源，80mm OD的兩個加熱區(qū)分流管式爐（*高1200oC）組成，3通道MFC氣體輸送站，高品質(zhì)的機(jī)械真空泵，兩個帶底盤收放的真空室以及觸摸屏控制面板。R2R系統(tǒng)旨在探索為行業(yè)連續(xù)生長石墨烯或其他二維薄膜的靈活性。

規(guī)格：

兩個加熱區(qū)管式爐	兩個加熱區(qū)，分別為440毫米長的單個加熱區(qū)和250毫米長的恒定溫帶區(qū) 高1200 ^o C 工作溫度<60分鐘高1100 ^o C連續(xù)加熱 30段可編程精度數(shù)字溫度控制器，精度為+ /1oC （ Eurotherm 3000溫度控制器是可選的，精度為+/- 0.1oC）高純度石英管：80mm外徑x 72mm內(nèi)徑x 1400毫米長度2.83“ ID x 55”長度輸入功率：208 – 240V AC輸入，*大單相。3千瓦可選三加熱區(qū)爐
等離子射頻電源	輸出功率：5 -300W可調(diào)，具有±1％的穩(wěn)定性射頻： 13.56 MHz±0.005％穩(wěn)定性匹配：自動射頻輸出端口：50Ω，N型，母頭噪音：<50 dB。冷卻：風(fēng)冷。功率：208-240VAC，50 / 60Hz
R2R真空室	兩個真空室位于爐子的兩端，并與石英管連接進(jìn)出基板的卷取輥位于真空室內(nèi) 基材的卷取速度可在1-400mm / min范圍內(nèi)調(diào)節(jié) 高可移動基板：外徑65 mm，外徑80mm 隨附一卷寬度為65毫米，厚度為0.025毫米（?5千克）的銅箔，供客戶使用。可根據(jù)要求提供100mm外徑的管，該管大可喂入基材。寬度80毫米如有需要，可提供帶速度控制器和不帶爐的密封法蘭的卷對卷機(jī)構(gòu)。
三通道輸氣站	工作溫度：5?45oC 高壓力：3x10 ⁶Pa 精度：±1.5％FS 內(nèi)膽：±（0.5-1.5）％FS 重復(fù)精度：±0.2％FS 控制范圍：控制器1：0?100 SCCM（氬氣校準(zhǔn)）控制器2：1?199 SCCM（H2氣體校準(zhǔn)）控制器3：1?499 SCCM（甲烷標(biāo)定）點擊左側(cè)的圖片獲取詳細(xì)說明警告：氫氣和甲烷必須安裝在熔爐附近，以警告氣體泄漏。*
真空泵和閥門	底盤上裝有兩級排氣系統(tǒng)的重型旋片式真空泵（7.8 CFM -240 L / m）。真空壓力10 ^-2托。 KFD25適配器和不銹鋼管通過球閥連接在泵和管法蘭之間爐內(nèi)裝有數(shù)字真空壓力表和顯示器可提供無油泵，并可根據(jù)要求提供PID壓力控制真空系統(tǒng)，但需要額外付費。
防腐壓力表	3.8x10 ^-5 至1125托測量范圍防腐蝕，氣體類型獨立大氣中的高精度和可重復(fù)性，可實現(xiàn)可靠的大氣壓檢測快速的大氣檢測消除了等待時間并縮短了處理周期易于更換的即插即用傳感器元件點擊圖片查看詳細(xì)規(guī)格
溫度控制器	兩個帶有30個可編程段的溫度控制器 +/- 1oC溫度精度。內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和熱電偶保護(hù)功能。過熱保護(hù)和警報允許無人值守的操作。帶有PC操作軟件的RS485通訊端口。您可以使用免費軟件以0.1oC的精度將溫度控制器升級到 Eurotherm控制器。
控制面板	7英寸觸摸屏控制面板，可控制溫度，氣體流量，等離子功率可根據(jù)要求通過筆記本計算機(jī)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，以提供PC控制軟件（必須購買帶有預(yù)裝軟件的筆記本計算機(jī)）
可選的	我們可以將爐子升級到5英寸的管子，并增加4英寸寬的薄膜）可根據(jù)要求提供用于卷對卷CVD系統(tǒng)的*大直徑達(dá)8“ OD的管。
外形尺寸	2400長x 600寬x 1250高mm
保證	具有提升時間支持的一年有限保修（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管，O形圈和加熱元件，請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購替換件。）
合規(guī)	CE認(rèn)證 NRTL（UL61010）或CSA認(rèn)證可額外付費。（請單擊下面的標(biāo)記以了解詳細(xì)信息）
操作指令
警告單擊此處了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝	石英管設(shè)計用于在真空和<0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低壓下使用甲ttention：必須在氣瓶安裝的兩級壓力調(diào)節(jié)器，以限制壓力低于3 PSI操作。單擊此處了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝。** MTI保留隨時修改PECVD設(shè)計的權(quán)利，恕不另行通知，但承諾質(zhì)量將達(dá)到上述規(guī)格
總運(yùn)輸重量	500公斤（1100磅），包括板條箱