VTC-16-SM是一種高功率  臺(tái)式磁控等離子體濺射鍍膜機(jī) ，具有  2英寸水冷靶頭，水冷卻器和可旋轉(zhuǎn)的樣品架。鍍膜單元 設(shè)計(jì)用于鍍膜所有直徑達(dá)4英寸的晶片（  包括Zn，Al）的金屬膜，鈦和碳輕質(zhì)薄膜，價(jià)格合理。包括一個(gè)鋁 目標(biāo)，可立即使用。（自2015年5月18日起，該產(chǎn)品不再隨附標(biāo)準(zhǔn)包裝的真空泵。）

輸入電壓	220伏交流50 / 60Hz  使用1000 W變壓器（15 A保險(xiǎn)絲）可提供110 V電源  。變壓器另售  。
輸出功率	1600伏直流電 250瓦 *大150 mA 內(nèi)置過電流保護(hù)  （> 150 mA）
標(biāo)本室	石英玻璃管，外徑165 mm。X 150毫米ID x 250毫米高度 請(qǐng)單擊此處訂購石英腔室更換件。
濺射頭和 標(biāo)本臺(tái)	包括帶有水冷套的2英寸柔性磁控濺射頭（圖1） 一個(gè)直徑為50 mm的不銹鋼 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)0-5 RPM 一個(gè)手動(dòng)操作的百葉窗用于目標(biāo)保護(hù)。（圖2） 濺射頭支架可用于在不操作時(shí)固定濺射頭。 濺射頭與樣品臺(tái)之間的距離可在60-100 mm之間調(diào)節(jié)。 *大涂層面積： *大直徑為4英寸  包括一臺(tái)  10 L / min流量的冷空氣循環(huán)水冷卻器，  用于冷卻濺射頭。（圖6）              1.     2.     3.     4.     5. 6。
控制面板	6英寸彩色觸摸屏控制面板，帶PLC集成，易于操作 一個(gè)用于所有參數(shù)監(jiān)視和控制的面板：真空，電流。
*限真空壓力	內(nèi)置KF25真空端口 該系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐。（不包含） <1.0E-2 Torr由葉片真空泵（不包括）提供，用于Au，Ag，Pt，Cu，Mo目標(biāo)（對(duì)空氣不敏感） 渦輪分子泵的不大于 1.0E-5 Torr  （不包括），  用于Al，Mg，Li，Lr，Ti，Zn靶（對(duì)空氣敏感） 抽真空過夜并烘烤，*低真空度可達(dá)到<4.0E-6 Torr
氣體氣氛	安裝了一個(gè)針閥以允許Ar氣體進(jìn)入以獲得更好的等離子涂層 系統(tǒng)需要帶有壓力調(diào)節(jié)器的Ar氣罐（不包括在內(nèi)）
目標(biāo)	包括一個(gè)2英寸銅 靶 進(jìn)行測(cè)試，靶尺寸：2英寸直徑x 2.5毫米。  它也可以涂覆幾乎每種金屬材料的Ag，Al，Cr，Ni，Pt，Ti，Sn，Li，Mg 等。    警告：本機(jī)可以涂覆鋁，鉻或鎳靶 ，但在使用前請(qǐng)查看推薦的涂覆方法。 請(qǐng)使用RF等離子磁控濺射法涂覆氧化鋁
可選的膜厚監(jiān)測(cè)儀	膜厚監(jiān)控器是可選的，但需額外付費(fèi)（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊圖1。有關(guān)圖像，請(qǐng)參見圖2,3,4）  可根據(jù)要求提供高達(dá)500 °C 的可加熱樣品臺(tái)，需要額外付費(fèi) 可根據(jù)要求提供用于**控制進(jìn)氣的流量計(jì)，但需要額外付費(fèi)。             1.      2.     3.       4
外形尺寸	長440毫米×寬330毫米×高290毫米
凈重	20公斤
運(yùn)輸重量和尺寸	160磅 45英寸x 45英寸x 40英寸
操作說明
合規(guī)	CE認(rèn)證 NRTL認(rèn)證暫時(shí)不可用。
保證	一年有限，終身支持
應(yīng)用須知	警告：濺射頭連接到高電壓。操作人員在操作過程中必須戴手套 在涂覆之前，請(qǐng)確保靶，濺射頭，基材和加熱臺(tái)是干凈的，每次使用時(shí)都需要使用砂紙和酒精清潔和清潔鋁或鎳靶。

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