• 單相220 VAC，50/60 Hz
• 1000 W（包括真空泵和冷水機(jī)）
• 如果電壓為110 V，則可以在MTI訂購(gòu)1500 W的變壓器（單擊左圖以了解詳細(xì)信息）

• 包括具有手動(dòng)匹配功能的13.5 MHz，100 W RF發(fā)生器并將其連接到濺射頭
• 連續(xù)工作時(shí)間：
• 100W：≤1小時(shí)
• 80W：  ≤1.5小時(shí)
• 70W：  ≤2小時(shí)
• 60W：  ≤4小時(shí)
• 50W：  ≤8小時(shí)
• 負(fù)載范圍：0 – 80Ω可調(diào)。調(diào)整范圍：-200j – 200j可調(diào)
• 可旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)可以一次激活一個(gè)濺射頭。濺射頭可以在“等離子”中切換（在多層工藝中不會(huì)破壞真空和等離子）
• 借助直流電源，可以輕松地將涂布機(jī)更改為用于金屬膜沉積的1英寸直流濺射源，從而實(shí)現(xiàn)三種直流，一個(gè)射頻/兩個(gè)直流和兩個(gè)射頻/一個(gè)直流濺射頭配置  （左下圖。請(qǐng)從產(chǎn)品選項(xiàng)）
• 可選配300 W自動(dòng)匹配RF發(fā)生器（需額外付費(fèi)）（單擊右下圖以獲取詳細(xì)信息）

500 W直流電源	300 W射頻電源

磁控濺射頭

• 包括三個(gè)帶水冷套的1“磁控濺射頭（單擊Pic＃1了解詳細(xì)信息），并通過(guò)快速夾具插入石英腔
• 可以在MTI購(gòu)買(mǎi)更換射頻電纜（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊圖片＃2 ）
• 法蘭上裝有一個(gè)手動(dòng)操作的百葉窗（請(qǐng)參閱圖3）    
• 包括一個(gè)10 L / min的數(shù)控循環(huán)水冷卻器，用于冷卻濺射頭（單擊Pic＃4  了解詳細(xì)信息）

  1個(gè)	2	3	4

濺射靶

• 目標(biāo)尺寸要求：1英寸直徑x 1/8英寸*大厚度
• 濺射距離范圍：50 – 80 mm可調(diào)
• 濺射角度范圍：0 – 25°可調(diào) 
• 包括1“直徑的銅靶和Al ₂ O ₃  靶，用于演示測(cè)試
• 可應(yīng)要求提供各種氧化物的1“濺射靶材，但需額外付費(fèi)
• 對(duì)于目標(biāo)鍵合，包括1毫米和2毫米的銅墊板。可以在MTI訂購(gòu)環(huán)氧銀（Pic＃1）和額外的銅墊板（Pic＃2）

  1個(gè)	2

• 真空室：外徑256毫米x內(nèi)徑238毫米x高度276毫米，由高純度石英制成
• 密封法蘭：直徑274 mm。鋁制成，帶有高溫硅膠O形圈
• 隨附不銹鋼屏蔽罩，可100％屏蔽來(lái)自腔室的RF輻射
• *大真空度：1.0E-5 Torr，帶有可選的渦輪泵和腔室烘烤 

樣品架

• 樣品架是一個(gè)可旋轉(zhuǎn)且可加熱的載物臺(tái)，由帶有不銹鋼蓋的陶瓷加熱器制成
• 樣品架尺寸：直徑50 mm。對(duì)于。*大2英寸晶圓（請(qǐng)參見(jiàn)下圖）
• 旋轉(zhuǎn)速度：1-10 rpm可調(diào)，均勻涂層
• 支架溫度可通過(guò)數(shù)字溫度控制器在RT至*大600°C（600°C下*大5 min; 500°C下*大2 hr）范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，精度為+/- 1.0°C

• 內(nèi)置KF40真空端口，用于連接真空泵。
• 真空度：1.0E-2 Torr，包括雙級(jí)機(jī)械泵（單擊左圖）
• 1.0E-5 Torr，帶有可選的渦輪泵   （點(diǎn)擊下圖）

           

• 精密石英厚度傳感器是可選的（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic＃1）。它可以?xún)?nèi)置在腔室中，以0.1?的精度監(jiān)控涂層厚度（需要水冷） 
• 易于通過(guò)USB連接到PC進(jìn)行遠(yuǎn)程厚度和涂層速度監(jiān)控
• 包括5個(gè)石英傳感器（消耗性） 
• 溫度控制器的遠(yuǎn)程PC控制是可選的（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic＃2 ）
• 易于通過(guò)USB連接到PC進(jìn)行遠(yuǎn)程溫度控制
• 包括溫度控制軟件。該模塊與LabView兼容
• 對(duì)于直流磁控濺射，建議使用渦輪泵（圖3）
• N ₂或O _2的反應(yīng)濺射可通過(guò)可選的氣體混合控制站獲得（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic＃4 ）

  1個(gè)	2	3	4

尺寸

• 540毫米長(zhǎng)x 540毫米寬x 1000毫米高

凈重

• 60公斤

合規(guī)

• CE認(rèn)證
• 可應(yīng)要求提供MET認(rèn)證（UL 1450），但需要額外收費(fèi)，請(qǐng)聯(lián)系我們的銷(xiāo)售代表以獲取報(bào)價(jià)。 

保證 

• 一年有限保修，提供終身支持 

操作指令

應(yīng)用須知
  

• 這款緊湊的1英寸RF磁控管濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)用于在通常不需要高真空設(shè)置的氧化物單晶襯底上涂覆氧化物薄膜
• 為了**使用，應(yīng)在氣瓶上安裝兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器（不包括），以將氣體的輸出壓力限制在0.02 MPa以下。請(qǐng)使用> 5N純度的Ar氣體進(jìn)行等離子濺射
• 為了獲得*佳的薄膜與基材的粘合強(qiáng)度，  請(qǐng)  在涂覆前清潔基材表面  ：
• 用以下連續(xù)浴進(jìn)行超聲波清洗（單擊Pic＃1進(jìn)行訂購(gòu)）-（1）丙酮，（2）異丙醇-除去油和油脂。用氮?dú)獯蹈苫?，然后在真空中熱烘烤以除去吸收的水?/span>
• 表面粗糙化，表面化學(xué)鍵活化或其他污染物去除可能需要等離子清潔（單擊Pic＃2進(jìn)行訂購(gòu)）
• 可以使用諸如Cr，Ti，Mo，Ta之類(lèi)的薄緩沖層（?5 nm）來(lái)提高金屬和合金的附著力

• 為了獲得*佳性能，非導(dǎo)電靶必須安裝有銅墊板。請(qǐng)參閱以下說(shuō)明視頻（＃3）了解目標(biāo)綁定
• MTI提供從A到Z的單晶襯底（單擊Pic＃4進(jìn)行訂購(gòu)） 
• MTI RF等離子濺射鍍膜機(jī)已成功在500°C的Al ₂ O ₃襯底上涂覆ZnO （圖5中的XRD曲線(xiàn)）
• 用EQ-MBT-12-LD心軸彎曲測(cè)試儀測(cè)試薄膜/涂層電*的柔韌性  。（有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)單擊Pic.6。）
• 高壓！濺射頭連接到高電壓。為了**起見(jiàn)，操作人員必須在樣品加載和目標(biāo)改變操作之前關(guān)閉RF發(fā)生器。
• 請(qǐng)勿在冷水機(jī)中使用自來(lái)水。與水一起使用冷卻液，去離子水，蒸餾水或抗腐蝕添加劑

  1個(gè)	2	3	4	5	6