• 單相220 VAC 50/60 Hz
• 2000 W（包括真空泵和冷水機(jī)）

• 兩個(gè)濺射電源集成在一個(gè)控制箱中（單擊下面的圖片查看詳細(xì)規(guī)格）
• 直流電源：500 W功率，用于涂覆金屬材料（圖1）
• 射頻源：功率為300 W，頻率為13.56 MHz，用于涂覆非導(dǎo)電材料（圖片2）

          -圖片1-            圖片2     

磁控濺射頭

• 包括兩個(gè)帶有水冷套和百葉窗的2英寸  磁控濺射頭（單擊左圖1st圖片。
• 此產(chǎn)品頁(yè)面上也提供一個(gè)濺射頭型號(hào)（在產(chǎn)品選件中）
• 一個(gè)連接到  直流電源以涂覆金屬材料
• 另一個(gè)連接到非導(dǎo)電材料的RF源
• 目標(biāo)尺寸要求：2英寸直徑
• 厚度范圍：金屬和非導(dǎo)電目標(biāo)（包括墊板）的厚度范圍均為0.1-5 mm
• 包括一個(gè)不銹鋼靶和一個(gè)研究級(jí)Al2O3靶 用于演示測(cè)試
• 可根據(jù)要求提供可選的2英寸濺射靶（或墊板），但需額外付費(fèi)。
• 推薦的濺射配方和有用的技巧
• 定制涂布機(jī)：兩個(gè)無(wú)射頻DC頭；兩個(gè)不帶DC的RF頭；可根據(jù)要求提供3個(gè)RF頭
• 可選： 可以訂購(gòu)148厘米的RF電纜，以進(jìn)行更換（需額外付費(fèi)）（從右向右依次單擊**張照片）

             

      

真空室

• 真空室：直徑300毫米 x 300毫米高度，由不銹鋼制成
• 視口：兩片100毫米直徑。玻璃。一個(gè)固定；一根可拆卸的清潔和更換件
• 帶有氣動(dòng)桿的鉸接式蓋 使目標(biāo)易于更換

樣品臺(tái)

• 樣品架是由帶銅蓋的陶瓷加熱器制成的可旋轉(zhuǎn)且可加熱的載物臺(tái)
• 樣品架尺寸：直徑140毫米。對(duì)于。*大4“晶圓
• 旋轉(zhuǎn)速度：1-20 rpm可調(diào)，均勻涂層
• 支架溫度可通過(guò)數(shù)字溫度控制器在RT至*大500°C（*大2 hr）范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，精度為+/- 1.0°C

氣體流量控制

• 安裝了兩個(gè)精密質(zhì)量流量控制器（MFC），以允許兩種氣體進(jìn)入 
• 流速：0 – 200 mL / min在觸摸屏控制面板上可調(diào)
• 安裝了進(jìn)氣閥以釋放真空

• 包括一個(gè)移動(dòng)泵站。濺射涂布機(jī)可以放在工作站的頂部
• 速度為80L / S的高速渦輪泵  與兩級(jí)機(jī)械泵（220 L / min）相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)*大真空度和更快的抽速
• 與腔室相連的標(biāo)準(zhǔn)真空度：<4.0E-5托。
• 可選，需額外付費(fèi)
• 如果選擇150L / S高速渦輪泵，則帶腔的真空度可達(dá)到10-6托（烘烤時(shí)為6x10-7托）
• 對(duì)于高達(dá)10 ^ -7托的超高真空，除渦輪泵外還需要吸氣泵（100L / s H2＆O2）。請(qǐng)咨詢我們的工程師以進(jìn)行詳細(xì)的自定義。
•  150L / S高速渦輪泵  吸氣泵         

• 包括一臺(tái)數(shù)字溫度控制的  循環(huán)水冷卻器  。 （點(diǎn)擊圖片查看詳情）
• 制冷范圍：5?35°C
• 流量：16 L / min
• 泵壓力：14 psi

• **的石英膜厚度監(jiān)測(cè)器  是可選的，它可以放入腔室中以0.10?的精度監(jiān)測(cè)涂層厚度
• 精密  薄膜和涂層分析系統(tǒng)-EQ-TFMS-LD  需額外付費(fèi)
• 可根據(jù)要求提供各種2“氧化物和金屬靶材，但需要額外付費(fèi)。可以在MTI訂購(gòu)環(huán)氧銀和銅背板

             

外形尺寸

                                        
          蓋子關(guān)閉：48“  ×28”  ×32“蓋子打開(kāi)：  48”  ×28“×37”

涂布機(jī)凈重

• 160公斤

運(yùn)輸重量和尺寸

• 總共2個(gè)托盤
• ＃1：520磅，52英寸x 40英寸x 50英寸
• ＃2：420磅，48英寸x 40英寸x 45英寸

合規(guī)

• CE認(rèn)證
• 可應(yīng)要求提供MET認(rèn)證（UL 1450），但需要額外收費(fèi)，請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表以獲取報(bào)價(jià)。 

保證

• 一年有限保修，提供終身支持

操作指令

 應(yīng)用筆記Pic 1 Pic 2        
   
              

•  為了**使用，應(yīng)在氣瓶上安裝兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器（不包括），以將氣體輸出壓力限制在0.02 MPa 以下。
• 為了從腔室中除去氧氣，MTI建議  您使用5％的氫氣+ 95％的氮?dú)馇鍧嵡皇?-3次，這可以將氧氣含量降低至<10 ppm
• 請(qǐng)使用> 5N純度的氬氣進(jìn)行等離子體濺射。即使5N純度的Ar，根據(jù)供應(yīng)商的不同，通常也包含10-100 ppm的氧氣和H2O。MTI建議您 在填充之前使用  氣體凈化設(shè)備凈化氣體。（單擊左側(cè)的Pic＃1＆＃2進(jìn)行訂購(gòu)）
• 為了獲得*佳性能，非導(dǎo)電靶必須安裝有銅墊板。請(qǐng)參考下面的指導(dǎo)視頻進(jìn)行目標(biāo)綁定  （點(diǎn)擊下面的圖片＃3）
• MTI提供從A到Z的單晶襯底（單擊下面的圖片＃4進(jìn)行訂購(gòu)） 
• MTI濺射鍍膜機(jī)已 在500°C的Al ₂ O ₃ 襯底上成功涂覆了ZnO （下圖5中的XRD曲線）
• 高壓！濺射頭連接到高電壓。為了**起見(jiàn)，操作人員必須在樣品加載和目標(biāo)改變操作之前關(guān)閉RF / DC發(fā)生器
• 請(qǐng)勿在冷水機(jī)中使用自來(lái)水。與水一起使用冷卻液，去離子水，蒸餾水或抗腐蝕添加劑

• 圖片3	圖片4	圖片5