• 在管腔的整個橫截面上提供均勻的氣體噴射分布
• 向上流動的氣體使固體顆粒懸浮
• 出色的熱傳遞和涂層，適用于每個懸浮顆粒 
• 取下蓋子后，可以從管的頂部排出加工過的材料

• 玻璃料：1 5?40 微米多孔，22mm外徑x 4mm厚
               

• 雙層鋼結(jié)構(gòu)，帶風(fēng)冷
• 分體門設(shè)計，易于安裝管子
• 高純度Al2O3纖維絕緣材料，旨在*大程度地節(jié)省能源

功率

1200 瓦

電壓

*高 溫度

1100 ^o C

連續(xù)溫度

1000 ^? ?

*高 加熱速率

<= 20  ^o C /分鐘

管尺寸和材料

• 隨附一根石英管。帶有底部玻璃料和擴大空間的主管用于顆粒處理
• 兩端：外徑 25mm  ，內(nèi)徑  22mm  ; 中央：外徑50mm，內(nèi)徑44mm，有關(guān)詳細尺寸，請參閱下圖。
• 中央擴大區(qū)域確保高空氣動力學(xué)性能

密封法蘭

• 底部法蘭：常規(guī)設(shè)計的1''底部法蘭，帶1/4''管接頭，用于引入主要氣體 
• 頂部法蘭：特殊設(shè)計的1''頂部法蘭，帶回流二級（前驅(qū)）進氣口和排氣口，請單擊下面的圖片以了解詳細信息

選裝件

• 可能需要通過氣體輸送來控制氣體
• 氧氣監(jiān)測：  氧氣傳感器可用于監(jiān)測CVD系統(tǒng)中使用的氣體的氧氣水平，以防止或  減少氧化。請點擊下面的圖片了解更多信息：
• 可以將超聲霧化器集成到系統(tǒng)中，以將亞微米的液滴輸送到粉末和液體之間發(fā)生相互作用的高溫區(qū)域。請點擊右下角的圖片以獲取詳細信息。

          

加熱區(qū)長度

200 毫米  （單個區(qū)域）

溫度控制器

• 30個可編程段，用于**控制加熱速率，冷卻速率和停留時間。
• 內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和熱電偶保護功能。
• 過熱保護和警報功能允許無人值守的操作。
• +/- 1oC溫度精度。

尺寸圖

凈重

約20 千克（不包括移動車）

運輸尺寸

48英寸x 40英寸35英寸（長x寬x高）

裝運重量

150  磅

保證 

筆記本電腦，軟件和WiFi控制（可選）

• 具有Microsoft Window 10和Microsoft Office 2013的**筆記本電腦（30天免費試用）可立即使用。
• 基于Labview的溫度控制系統(tǒng)（EQ-MTS01） 使用戶能夠編輯溫度曲線，管理熱處理配方，記錄和繪制MTI爐的數(shù)據(jù)。
• 無線遙控器可提供300米的工作范圍。
• 以上功能可應(yīng)要求提供，但需額外付費（*高$ 1,000）。請與我們聯(lián)系獲取更多信息。
• 注意：  該軟件僅與MTI的Yudian溫度控制器兼容

•     

合規(guī)

• CE認證
• 所有電氣組件（> 24V）均通過UL / MET / CSA認證
• NRTL或CSA認證需要額外付費。 （請單擊下面的標記以了解詳細信息）

                       

警告單擊此處了解 氣體調(diào)節(jié)器的安裝

• 帶石英管的管式爐設(shè)計用于在< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低正壓下使用 
• 氣體的流量應(yīng)限制為<200 SCCM（或200 ml / min），以減少對管子的熱沖擊
• 甲ttention：必須在氣瓶安裝的兩級壓力調(diào)節(jié)器，以限制壓力低于3 PSI**操作。 單擊此處了解 氣體調(diào)節(jié)器的安裝。
• 所有石英管爐的真空*限定義：*真空壓力只能在*高1000°C的溫度下**使用 

操作說明