簡單介紹
Holmarc的旋涂機(jī),型號:HO-TH-05是專用的臺式系統(tǒng),用于在實驗室中以良好控制的旋涂工藝參數(shù)旋涂小基材。高速和持續(xù)時間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或厚度。旋轉(zhuǎn)頭執(zhí)行器是一種精密的直流伺服電機(jī),需要較少的維護(hù),并具有**的速度和加速度控制。由無油真空泵驅(qū)動的真空吸盤將基材固定在旋轉(zhuǎn)頭上。
產(chǎn)品描述
● 夾頭直徑:10毫米,23毫米,35毫米
● 透明**蓋在工作室
● 非易失性程序存儲器
● 人性化設(shè)計
● 后面板電源開/關(guān)
● 支架架,以保持吸管分發(fā)解決方案
● 進(jìn)出惰性氣體吹掃出口,6mm油管
應(yīng)用領(lǐng)域
Holmarc的旋涂機(jī),型號:HO-TH-05是專用的臺式系統(tǒng),用于在實驗室中以良好控制的旋涂工藝參數(shù)旋涂小基材。高速和持續(xù)時間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或厚度。旋轉(zhuǎn)頭執(zhí)行器是一種精密的直流伺服電機(jī),需要較少的維護(hù),并具有**的速度和加速度控制。由無油真空泵驅(qū)動的真空吸盤將基材固定在旋轉(zhuǎn)頭上。
該設(shè)備具有用戶友好的前面板,該面板具有用于編程旋轉(zhuǎn)過程的鍵盤和LCD。旋轉(zhuǎn)持續(xù)時間,旋轉(zhuǎn)速度,加速度等都是可通過前面板進(jìn)行編程的參數(shù)。由于程序存儲器是非易失性的,因此在斷電時不會丟失所記錄的參數(shù)。該模型配備有9個預(yù)設(shè)的可編輯程序的存儲器,每個程序有9個步驟。
特點● 夾頭直徑:10毫米,23毫米,35毫米
● 透明**蓋在工作室
● 非易失性程序存儲器
● 人性化設(shè)計
● 后面板電源開/關(guān)
● 支架架,以保持吸管分發(fā)解決方案
● 進(jìn)出惰性氣體吹掃出口,6mm油管
執(zhí)行器 | : | 無刷直流電機(jī) |
紡絲速度 | : | 60-9999 rpm |
基板直徑 | : | 30毫米至70毫米 |
電源輸入 | : | 230V,50Hz |
讀出 | : | 20 x 4線LCD |
旋轉(zhuǎn)室 | : | 尼龍 |
加速 | : | 5-2000 rpm /秒 |
轉(zhuǎn)速精度 | : | <5% |
可編程參數(shù) | : | 速度,加速度,停留時間和步數(shù) |
*大步數(shù) | : | 9 |
程序記憶 | : | 9個程序(非易失性) |
尺寸 | : | 400mm深度x 275mm寬x 500mm高 |
重量(約) | : | 34公斤 |
旋涂在有機(jī)電子,納米技術(shù),半導(dǎo)體工業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域無處不在。
旋涂廣泛用于使用溶膠-凝膠前驅(qū)體在玻璃或單晶基板上的功能性氧化物層的微細(xì)加工,可用于制造具有納米級厚度的均勻薄膜。它廣泛用于光刻中,以沉積約1微米厚的光刻膠層。
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