Holmarc的旋涂機,型號:HO-TH-05是專用的臺式系統(tǒng),用于在實驗室中以良好控制的旋涂工藝參數(shù)旋涂小基材。高速和持續(xù)時間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或厚度。旋轉(zhuǎn)頭執(zhí)行器是一種精密的直流伺服電機,需要較少的維護,并具有**的速度和加速度控制。由無油真空泵驅(qū)動的真空吸盤將基材固定在旋轉(zhuǎn)頭上。
該設(shè)備具有用戶友好的前面板,該面板具有用于編程旋轉(zhuǎn)過程的鍵盤和LCD。旋轉(zhuǎn)持續(xù)時間,旋轉(zhuǎn)速度,加速度等都是可通過前面板進行編程的參數(shù)。由于程序存儲器是非易失性的,因此在斷電時不會丟失所記錄的參數(shù)。該模型配備有9個預(yù)設(shè)的可編輯程序的存儲器,每個程序有9個步驟。
旋涂在有機電子,納米技術(shù),半導(dǎo)體工業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域無處不在。
旋涂廣泛用于使用溶膠-凝膠前驅(qū)體在玻璃或單晶基板上的功能性氧化物層的微細加工,可用于制造具有納米級厚度的均勻薄膜。它廣泛用于光刻中,以沉積約1微米厚的光刻膠層。