已為L(zhǎng)CD研發(fā)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)了摩擦機(jī)。該系統(tǒng)旨在跟蹤聚酰亞胺上的凹槽以使液晶分子定向。用深度為幾埃的專用摩擦布制成凹槽。基板由真空吸盤保持,真空吸盤包括真空泵并與系統(tǒng)集成在一起。型號(hào):HO-IAD-BTR-02中可以裝載的玻璃基板的*大直徑為200mm。基板與真空吸盤一起被固定在一個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,以便可以旋轉(zhuǎn)并以各種所需的摩擦方向以±20度的任意角度定位。
該系統(tǒng)已開(kāi)發(fā)為獨(dú)立單元,其中主軸速度和基材速度可以變化。