MM214是Holmarc的一系列創(chuàng)xin新測(cè)量顯微鏡，專(zhuān)為工業(yè)和科學(xué)測(cè)量而設(shè)計(jì)。這些顯微鏡旨在提供*大的測(cè)量精度。它可用于測(cè)量以及檢查微型零件和樣本，這些微型零件和樣本太小而無(wú)法在沒(méi)有顯微鏡的幫助下進(jìn)行測(cè)量。該儀器可測(cè)量半導(dǎo)體，小型電子和電氣元件，生物樣本，微機(jī)電系統(tǒng)（MEM），微型機(jī)械零件，微型模制物品等。顯微鏡具有長(zhǎng)工作距離物鏡，目鏡裝有參考十字線(xiàn)，精度高XY測(cè)量平臺(tái)，安裝在X，Y和Z平臺(tái)上的光學(xué)線(xiàn)性標(biāo)尺，數(shù)字讀出（DRO）和物體照明系統(tǒng)。
X，Y和Z階段
三個(gè)線(xiàn)性平臺(tái)均具有精密滾動(dòng)軸承，以確保直線(xiàn)精度和測(cè)量的可重復(fù)性。這些平臺(tái)裝有分辨率為1微米的光學(xué)編碼器。
XY載物臺(tái)帶有絲杠驅(qū)動(dòng)器，可通過(guò)旋鈕進(jìn)行精細(xì)和超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)。這兩個(gè)平臺(tái)都有離合器機(jī)構(gòu)，可將絲杠與平臺(tái)分離，從而快速定位。舞臺(tái)有玻璃頂部，可以照亮底部。X平臺(tái)的行程為200毫米，Y平臺(tái)的行程為150毫米。Z軸由齒條和小齒輪通過(guò)兩側(cè)都裝有旋鈕的驅(qū)動(dòng)，右側(cè)帶有精細(xì)的定位機(jī)構(gòu)。光學(xué)頭安裝在Z平臺(tái)上。可以通過(guò)重復(fù)關(guān)注感興趣的點(diǎn)來(lái)進(jìn)行垂直測(cè)量。
物體照明
共有三種照明類(lèi)型可供選擇：同軸照明，底部照明和傾斜照明。在所有這些情況下，高亮度LED均可用作光源，以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命和涼爽的照明。
數(shù)字讀出
符合人體工程學(xué)的視線(xiàn)位置的垂直列裝有1微米分辨率的數(shù)字讀數(shù)。讀數(shù)具有大的LED顯示屏和各種可編程功能，例如誤差補(bǔ)償，校準(zhǔn)等。