MM214是Holmarc的一系列創(chuàng)xin新測量顯微鏡,專為工業(yè)和科學測量而設計。這些顯微鏡旨在提供*大的測量精度。它可用于測量以及檢查微型零件和樣本,這些微型零件和樣本太小而無法在沒有顯微鏡的幫助下進行測量。該儀器可測量半導體,小型電子和電氣元件,生物樣本,微機電系統(tǒng)(MEM),微型機械零件,微型模制物品等。顯微鏡具有長工作距離物鏡,目鏡裝有參考十字線,精度高XY測量平臺,安裝在X,Y和Z平臺上的光學線性標尺,數(shù)字讀出(DRO)和物體照明系統(tǒng)。
X,Y和Z階段
三個線性平臺均具有精密滾動軸承,以確保直線精度和測量的可重復性。這些平臺裝有分辨率為1微米的光學編碼器。
XY載物臺帶有絲杠驅動器,可通過旋鈕進行精細和超精細的運動。這兩個平臺都有離合器機構,可將絲杠與平臺分離,從而快速定位。舞臺有玻璃頂部,可以照亮底部。X平臺的行程為200毫米,Y平臺的行程為150毫米。Z軸由齒條和小齒輪通過兩側都裝有旋鈕的驅動,右側帶有精細的定位機構。光學頭安裝在Z平臺上。可以通過重復關注感興趣的點來進行垂直測量。
物體照明
共有三種照明類型可供選擇:同軸照明,底部照明和傾斜照明。在所有這些情況下,高亮度LED均可用作光源,以實現(xiàn)長壽命和涼爽的照明。
數(shù)字讀出
符合人體工程學的視線位置的垂直列裝有1微米分辨率的數(shù)字讀數(shù)。讀數(shù)具有大的LED顯示屏和各種可編程功能,例如誤差補償,校準等。